TARİHÇE

Merkez'in altyapısı, 1980'li yıllarda 40 Milyon ABD doları yatırımla TESTAŞ A.Ş. bünyesinde kurulmuş ve daha sonra Özelleştirme Yüksek Kurulu (ÖYK) kararı ile 1998 yılında ODTÜ'ye devredilmiş mikroelektronik temizalan altyapısına dayanmaktadır. Mevcut altyapı sayesinde 1995'ten itibaren başlayan MEMS konusundaki çalışmalar ivme kazanmış, MEMS konusunda alınan projeler ve yapılan yatırımlarla ülkemiz için MEMS konusunda bir mükemmeliyet merkezi kurulması yönünde ilk adımlar atılmıştır.

ODTÜ MEMS Merkezi, ODTÜ Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler Araştırma ve Uygulama Merkezi ismiyle 2008 yılında YÖK nezdinde bir birim olarak onaylanmıştır. Merkezimiz, 1998 yılından beri süregelen çalışmalar ile dünya ölçeğinde tanınan ve literatürdeki benzerleri ile başa baş düzeyde rekabet edebilecek mikrosistemler geliştirip bu konuda yüksek katma değer üreten bir merkez haline gelmiştir.

ODTÜ MEMS Merkezi, 6550 sayılı Araştırma Altyapılarının Desteklenmesine Dair Kanun kapsamında, 16 Ağustos 2017 tarihinde yeterlik almış ve bu kapsamda ilk dört Ulusal Araştırma Merkezi'nden birisi olmuştur. ODTÜ MEMS Merkezi'nin, MEMS ve mikro üretim altyapısı, Devlet Planlama Teşkilatı (Kalkınma Bakanlığı), Millî Savunma Bakanlığı, TÜBİTAK, Avrupa Birliği (6. ve 7. Çerçeve Programı, Horizon 2020), Savunma Sanayi Müsteşarlığı, Bilim Sanayi ve Teknoloji Bakanlığı gibi kamu kaynaklı fonların yanı sıra özel sektör kaynaklı 70 Milyon ABD doları üzerindeki Ar-Ge projelerinden sağlanan yatırımlar ile geliştirilmiştir.

ODTÜ MEMS Merkezi, 6 Aralık 2022 tarihinde ikinci beş yıllık yeterliğini almıştır ve MEMS alanında yeni proje başvurularına, mevcut projeleri başarıyla yürütmeye, teknoloji geliştirme ve mikrofabrikasyon faaliyetlerine devam etmektedir.