Son Güncelleme:
06/01/2025 - 11:01


     HİZMET BEDELİ

Merkezimiz, kendi bünyesinde yürüttüğü faaliyetler ve projeler dışında temizalan altyapısında dış kullanıcılara hizmet vermekten de sorumludur. Merkezimiz olanaklarından faydalanmak isteyen tüm kişi/kurum/kuruluşlar dış kullanıcı olarak tanımlanır. Merkezimizde bulunan 1000 sınıfı temizalan ve 10000 sınıfı test alanından hizmet almak isteyen dış kullanıcılar, Web sayfamızda yer alan "Hizmetlerimiz" sekmesi altında bulunan Teklif Talep Formu'nu eksiksiz ve yeterli detay seviyede doldurarak teklif talebini Merkezimize iletmelidirler. İletilen talepler, ekibimiz tarafından değerlendirilir, değerlendirme sonucunda talebin Merkez'de yapılabilirliğine kanaat getirilirse aşağıda verilen "ODTÜ MEMS Merkezi Cihaz Kullanımı Saat Ücretleri" listesi baz alınarak teklif hazırlanır. Hazırlanan teklif onay için dış kullanıcıya iletilir.

Dış kullanıcı, gerekli eğitimi almış olması şartıyla, iş sağlığı ve güvenliği kuralları çerçevesinde ve ilgili cihaz sorumlularının onayı ve gözetimi ile temizalan altyapısında kendisi de çalışabilir.

Temizalan eğitimi olmayan dış kullanıcılar temizalana giriş yapamaz, temizalanı kullanamazlar.

Cihazlardan “check out” almadan herhangi bir cihaz kullanılamaz, herhangi bir cihazı kendisi kullanmak isteyen dış kullanıcı “check out” talebinde bulunur ve bu kullanıcıya Merkezimizin “check out” süreci işletilir. Bu sürece ilişkin detaylı bilgi info@mems.metu.edu.tr adresinden talep edilebilir.

Yapılan talep onaylandıktan sonra kullanıcıların “ODTÜ MEMS Merkezi Portal Sistemi”ne giriş yapmaları gerekmektedir. İlk defa giriş yapacak olan kullanıcılar kullanıcı adı ve şifre oluşturduktan sonra portalı kullanarak rezervasyon oluşturabilirler. Eğer bir dış kullanıcı herhangi bir cihazdan “check out” almış ise portaldan o cihazı kendisi kullanmak için rezervasyon oluşturabilir ya da işlemin Merkez’de yapılması için rezervasyon talebinde bulunabilir.

ODTÜ MEMS Merkezi Cihaz Kullanımı Saat ücretleri ile bağlantılı olarak;

► Faturalandırılma yapılırken gerçekleşen kullanım dikkate alınır. Gerçekleşen kullanım teklif bedelinin üzerine çıktığında faturalandırma gerçekleşen kullanım üzerinden yapılmaktadır.

► Aşağıda yer alan fiyatlara cihazlarda kullanılacak sarf malzemeler dahil değildir. Kullanım sonrası talep kapsamında harcanan sarfların tüketim miktarına göre hesaplanan bedeli faturaya yansıtılır.

► Fiyatlarımıza KDV dâhil değildir.

► Listelenmiş olan fiyatlar, yalnızca standart cihaz kullanımına yöneliktir. Cihaz kullanımlarına ek taleplerinizde (malzeme kullanımı, deney tasarımı, çıktıların analizi ve raporlanması vb.) ve/veya talebinizin karmaşıklığına bağlı olarak fiyatlandırma değişebilir.

► Listede belirtilen "Personel Saat Ücreti", yalnızca standart uygulamalarda geçerlilik göstermektedir. Özel üretim ve Ar-Ge kapsamında yapılacak olan çalışmalarda bu fiyat değişkenlik gösterecektir.

► Temizalanı hizmet kapsamında sürekli kullanmak durumunda olan dış kullanıcılar için tarafımızca özel kıyafet, ayakkabı gibi malzemeler sağlanabilir. Bu malzemelerin ücretleri kullanıcılardan ayrıca alınır.

► Temizalan giriş ücreti günlük olarak alınır.

► Üniversitelere, araştırma altyapılarına, enstitülere, kobilere ve teknokent firmalarına aşağıdaki fiyatlar üzerinden %10 indirim uygulanır.

► ODTÜ ve Merkez İç Projelerine aşağıdaki fiyatlar üzerinden %20 indirim uygulanır.

TEMİZALAN (TA) KULLANIMI VE CİHAZ SAAT ÜCRETLERİ

 TA 1000 GİRİŞ ÜCRETİ

         $ 32

 TEST ALANI 10000 GİRİŞ ÜCRETİ

         $ 6

 BİYOMEMS ALANI GİRİŞ ÜCRETİ 

         $ 6

 PERSONEL SAAT ÜCRETİ

         $ 40

 LİTOGRAFİ SÜREÇLERİ BİRİMİ  

 MANUAL SPIN COATER

        $ 20

 AUTOMATIC SPIN COATER SUSS MicroTec  ACS 200

        $ 136

 STEPPER ASML PAS5500

        $ 185

 MASK MAKER 

        $ 88

 MASK ALIGNER

        $ 36

 METALİZASYON SÜREÇLERİ BİRİMİ 

 SPUTTER BESTEC

       $ 96

 SPUTTER AJA   

       $ 96

 SPUTTER NANOVAK

       $ 24

 THERMAL EVAPORATOR VARIAN

       $ 48

 PLAZMA ORTAMINDA KURU KAPLAMA VE AŞINDIRMA SÜREÇLERİ BİRİMİ   

 DRIE

       $ 136

 RIE-1

       $ 72

 RIE-2  Omega i2L APS

       $ 105

 RIE Metal MPX ICP

       $ 105

 STS PECVD-1

       $ 80

 STS PECVD-2 DELTA İ2l

       $ 96

 PARYLENE DEPOSITION SYSTEM PDS 2010

       $ 16

 VAPOR HF ETCHER PRIMAXX NGCET 

       $ 48

 ETCHING SYSTEM XeF2 Xenon 

       $ 26

 OXYGEN PLASMA SYSTEM NANOPLAS

       $ 24

 OXYGEN PLASMA SYSTEM  BRANSON

       $ 8

 SIVI AŞINDIRMA VE KAPLAMA SÜREÇLERİ BİRİMİ   

 WET BENCH TERRA (Bench-1-2-3-4-5-6-8-9-20)

       $ 48

 WET BENCH TESTAŞ (Bench 10-11-12-13-14-15-16-17-18-19)

       $ 32

 WAFER/MASK CLEANER EVG 301

       $ 21

 CRITICAL POINT DRYER

       $ 16

 WAFER CLEANER AXUS

       $ 39

 GRINDER AXUS

       $ 29

 LAPPING ENGIS

       $ 20

 SRD- TERRA

       $ 13

 YÜKSEK SICAKLIK KAPLAMA VE FIRIN SÜREÇLERİ BİRİMİ   

 FURNACE DIFFUSION 

       $ 40

 FURNACE LPCVD 

       $ 110

 FURNACE FRESENBERGER (HIGH TEMP.)

       $ 12

 FURNACE IMPERIAL IV UltraClean

       $ 8

 METROLOJİ SÜREÇLERİ BİRİMİ   

 OPTICAL SURFACE PROFILER WYKO

       $ 16

 CONTACT SURFACE PROFILER DEKTAK

       $ 16

 IR INSPECTION MICROSCOPE IDONUS 

       $ 16

 SEM JEOL-7500

       $ 40

 SEM HITACHI

       $ 40

 MICROSCOPES HIROX

       $ 16

 ELEKTRONİK PAKETLEME VE ENTEGRASYON SÜREÇLERİ BİRİMİ  

 DICER

       $ 26

 WIREBONDER Ball DELVOTECH 56XX (10/32)

       $ 40

 WIREBONDER Wedge DELVOTECH 56XX (30)

       $ 40

 WAFER BONDER EVG 501

       $ 16

 WAFER BONDER EVG 520IS

       $ 39

 PROJECTION VACUUM WELDER POLARIS ACCUWELD-4270

       $ 8

 DIE BONDER/REOWEN TRESKY

       $ 12

 LASER CUTTER

       $ 13

 BOND TESTER DAGE4000

       $ 13

 PLASMA ACTIVATION SYSTEM EVG 810

       $ 45

 AKUSTIK MICROSKOPE PVA TEPLA

       $  8

 ÖLÇÜM VE KARAKTERİZASYON SÜREÇLERİ BİRİMİ   

 DIELECTRIC THICKNESS MEASUREMENT SYSTEM NANOMETRICS

       $  8

 STRESS MEASUREMENT SYSTEM TOHO FLX 2320

       $ 16

 ELLIPSOMETER IR VASE

       $ 24

 FTIR-F40

       $ 32

 MS-SENSOR CHARACTERIZATION SETUP(BLACKBODY SYSTEMS)

       $ 12

 MS-RESPONSIVITY SETUP 

       $ 13

 AYGIT TEST VE KARAKTERİZASYON SÜREÇLERİ BİRİMİ   

 DYNAMIC MEMS ANALYZER POLYTEC MSA-500

       $ 24

 PROBE STATION PAV 200

       $ 112

 PROBE STATION MICROMANIPULATOR 

       $ 16

 PROBE STATION LUCAS SIGNATONE

       $ 8

 4-POINT PROBE  MAGNE-TRON

       $ 8

 TCR  MEASUREMENT SYSTEM QUADPRO

       $ 13

 HÜCRE KÜLTÜRÜ VE Biyo MEMS ALANI 

FAZ KONTRAST MİKROSKOBU (Inverted Flourescent Mic.)& MİKROAKIŞKAN AKIŞ KONTROL SİSTEMİ (Microfluidic Flow Controller)

       $ 14

POTANSİYOSTAT/GALVANOSTAT SİSTEMİ MODÜLER AUTOLAB PGSTAT 128N

       $ 8

 MİKROPLAKA OKUYUCU (Microplate Reader) THERMO SKY

       $ 8

 SLA 3D YAZICI

       $ 17

 SOFT EMBOSSING

       $ 8

 HÜCRE KÜLTÜRÜ LABORATUVARI

       $ 16

 KİMYA LABORATUVARI

       $ 16