Bu faaliyet alanı, MEMS üretim teknikleri ile üretilmeye uygun, hassas konumlanan ve/veya konumu algılanan bir veya daha fazla ataletsel kütleden oluşan sistemlere odaklanmaktadır.

Bu alan kapsamında yürütülmekte olan Kuzey Bulucu teknolojisi ile öncelikli olarak savunma sanayi çözümleri geliştirilmesi ve hali hazırda kullanılan taktik seviye navigasyon sistemlerine destek olunması amaçlanmaktadır.

Alan kapsamında çalışılan bir diğer teknoloji Ayarlanabilir Optik Boşluklu Fabry- Pérot MEMS Filtre'dir. Bu teknoloji, geniş bant bir ışık kaynaklarından, ayarlanabilir optik boşluk sayesinde istenen herhangi özel bir dar banttaki ışık seçilerek detaylı analizler yapılmasını mümkün kılmaktadır. Bu teknoloji kullanılarak, otomotiv ve görüntüleme sektörleri başta olmak üzere, çeşitli sektörlere kritik çözümler üretilmesi hedeflenmektedir.

MEMS Kasılabilir Hücre Test Sistemi teknolojisi ise, kasılabilir hücrelerinin performansının doğrudan değerlendirebilmesi için özgün bir kuvvet-deplasman ölçüm ve değerlendirme sistemi geliştirilmesini amaçlanmaktadır. Bu teknoloji, ülkemizde ilk kez çalışılıyor olması ve sağlık alanındaki uygulama projelerine temel teşkil edecek olması nedeni ile yüksek özgün değere sahiptir.