RF MEMS birimi elektromanyetik spektrumun mm ve THz bandı bölgesinde, ülkemizin öncelikli hedefleri doğrultusunda ihtiyaç duyulan MEMS tabanlı sensör ve RF aygıtlarını araştırma, geliştirme ve üretme faaliyetlerini yürüten çalışma alanıdır. Merkezimiz, bu alan kapsamında 2002 yılından bu yana faaliyet göstermektedir. Bu kapsamda RF MEMS anahtarlar, antenler (yansıtıcı yüzey, faz dizili vs.), faz kaydırıcılar ve sığaçlar gibi aygıtlar geliştirilmiş; elektromanyetik spektrumun dünyada da yeni keşfedilmeye başlanan THz frekans bandında çalışmalara başlanarak bu alanında yeni kabiliyetler kazanılmıştır.